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位置:凈化設備案例 ? FFU潔凈單元
FFU潔凈單元

—— FFU潔凈單元●產品介紹 ——

FFU為英文縮寫,全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為"風機過濾器單元(機組)"。也就是將風機和過濾器(FFU詳細簡介高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA))組合在一起構成自身提供動力的末端凈化設備。確切地說FFU是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。

—— FFU潔凈單元●產品參數 ——

—— FFU潔凈單元●產品特點 ——

1、靈活性:
因為FFU是自帶動力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生產工藝的變化,廠房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
2、可再利用性:
從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
3、負壓通風:
這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里,使得密封變得很簡單而且安全。
4、縮短建設周期:
使用FFU省掉了風管的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益,選用FFU成為了一種可能。
5、減少運行成本:
雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但它在后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40%的運行成本。
—— FFU潔凈單元●產品實拍 ——
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